“生產(chǎn)過程中，晶圓需要由一個設備轉移到下一個設備，期間任何一個微小的位置失誤都會導致晶圓受損。”
半導體產(chǎn)業(yè)越往上游，技術難度越大，晶圓作為制造芯片的上游原材料，傳輸設備高端機型基本被國外供應商壟斷。
“毅”家人星微科技正致力于推進該領域的國產(chǎn)自主化。
星微科技董事長陸敏杰日前接受了記者采訪，以下作為分享：
“對于行業(yè)的未來，我們充滿信心。”星微科技有限公司（以下簡稱星微科技）董事長陸敏杰微笑著說到。
位于無錫市新吳區(qū)的星微科技成立于2015年，公司專注于半導體晶圓自動化領域，產(chǎn)品包括半導體晶圓傳輸機器人（Wafer Robot）及晶圓自動化設備（EFEM/SORTER）、超精密晶圓運動控制系統(tǒng)（Wafer Stage），致力打造半導體晶圓自動化傳輸系統(tǒng)到晶圓高精度定位系統(tǒng)的定制化整體解決方案。
公司研發(fā)團隊掌握自主核心技術，關鍵核心零部件完全自主化，技術水平國內(nèi)領先。
兩大核心產(chǎn)品為抓手 推進核心零部件自主化進程
半導體制造工藝對環(huán)境潔凈度要求苛刻，通常人工操作無法達到行業(yè)的生產(chǎn)標準要求。星微科技制造的晶圓自動傳輸系統(tǒng)便是用于晶圓在各個半導體設備間的傳輸工作，是所有半導體制程、檢測設備都必不可少的關鍵組成部分。
“如果把芯片比作宇宙飛船，那么晶圓就是航空母艦，生產(chǎn)過程極其復雜。在這一過程中，晶圓則需要由一個設備轉移到下一個設備，期間任何一個微小的位置失誤都會導致晶圓受損。因此，晶圓制造廠都會選擇無人化的生產(chǎn)過程。”星微科技董事長陸敏杰表示，公司目前自主研發(fā)的帶晶圓機械手的傳輸系統(tǒng)，就是用來實現(xiàn)晶圓的自動搬運、分選等功能。
超精密運動平臺控制系統(tǒng)是公司的另一大核心產(chǎn)品。它作為晶圓光刻、 缺陷檢測、芯片封裝等設備的主要核心模塊。主要職能是承載晶圓、芯片按照指定的運動軌跡做高速、高精度定位等一系列極致運動。
核心零部件作為半導體設備乃至半導體產(chǎn)業(yè)鏈的基石，在很長一段時間內(nèi)都依賴于進口。而今隨著國家創(chuàng)新能力和研發(fā)能力的提升，目前已初步形成國產(chǎn)化趨勢。但因為起步晚，公司也只是完成了產(chǎn)品中的部分核心部件自主化。
陸敏杰告訴記者，一款產(chǎn)品在實際運行中會出現(xiàn)各種預想不到的問題，需要不斷的優(yōu)化迭代。目前公司自主研發(fā)的超精密氣浮運動平臺各項精度指標和制造工藝質量等方面，與國外產(chǎn)品并無二致，具有突破國外壟斷的重要意義。
2015年回錫創(chuàng)業(yè) 深耕先進制造，堅信中國制造
“我是無錫人，最開始在上海工作，從事的也是精密運動控制系統(tǒng)領域。2015年，我回到了自己的家鄉(xiāng)，開始創(chuàng)業(yè)之旅。” 陸敏杰說道。
然而，公司的發(fā)展并不是一帆風順。2015-2018年，國內(nèi)半導體行業(yè)處于低谷期，相應地，對半導體核心零部件的需求也較少。當時，公司訂單基本來源于科研院所。
隨著中美貿(mào)易競爭的加劇、技術的脫鉤，半導體自主化勢在必行，半導體零部件的國產(chǎn)自主化也引人關注。“半導體設備由成千上萬的零部件組成，這些零部件的性能、精度，則直接影響著設備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國在半導體制造能力上升級迭代的關鍵要素。” 陸敏杰告訴記者，公司從一開始就選擇超精密運動平臺和晶圓傳輸設備兩大核心產(chǎn)品，助力被“卡脖子”的半導體設備的國產(chǎn)化。
開拓市場也是一大難題。“公司在創(chuàng)業(yè)初期，作為該領域的新入行者，會面臨產(chǎn)品在市場上的認可度問題。” 陸敏杰表示，有些客戶習慣于國外產(chǎn)品，因此需要先為客戶定制測試樣機的方式來獲取市場機會。“公司當前已經(jīng)有了穩(wěn)定的客戶群，訂單排產(chǎn)、生產(chǎn)及交付也都在逐步推進中，經(jīng)營效益實現(xiàn)較快增長。公司會繼續(xù)求真務實，主動作為，穩(wěn)步提升銷量和產(chǎn)品質量。”
強化人才團隊建設讓創(chuàng)新人才安心“留下來”
2022年兩會期間，“鼓勵年輕人少送外賣多進工廠”的建議登上熱搜，引發(fā)了人們對制造業(yè)招工難問題的討論。
在陸敏杰看來，部分公眾對制造業(yè)存有工作強度大、工作環(huán)境差、薪資待遇低等刻板印象，但實際上，國內(nèi)不少制造業(yè)企業(yè)早已“今非昔比”，工作環(huán)境及收入已有明顯提高。以星微科技為例，不計投入做好各項保障工作，而且提供充分的技能培訓、完善的晉升渠道、合理的工作安排，讓人才“留下來”。
當前，公司正在抓緊對優(yōu)秀應屆生以及擁有工作經(jīng)驗的技術人才、產(chǎn)業(yè)人才的招聘。陸敏杰表示，不同于流水線式的重復工作，星微科技更注重對人才的系統(tǒng)化、全面化培養(yǎng)，“我們也在爭取公司本身的轉型升級，增加產(chǎn)品‘附加值’，吸引更多有創(chuàng)造力的優(yōu)秀人才的加入。”
結 語
近年來，中國半導體行業(yè)進入了快速發(fā)展期，而無錫以其獨特的地理位置和完整的產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，構建起一個半導體產(chǎn)業(yè)積聚的超級生態(tài)圈。據(jù)相關數(shù)據(jù)顯示，無錫的半導體產(chǎn)業(yè)規(guī)模位列全國第二，僅次于上海。
2022年年初，毅達資本完成對星微科技的投資，這也是毅達資本在無錫半導體產(chǎn)業(yè)鏈上的又一筆投資。目前毅達資本在無錫半導體投資領域已經(jīng)囊括上游的半導體材料和設備生產(chǎn)、中游的電子元器件和集成電路制造、下游的電腦、穿戴設備、安防、5G應用等全產(chǎn)業(yè)鏈條。
半導體產(chǎn)業(yè)越往上游，技術難度越大，晶圓作為制造芯片的上游原材料，傳輸設備高端機型基本被國外供應商壟斷。
“毅”家人星微科技正致力于推進該領域的國產(chǎn)自主化。
星微科技董事長陸敏杰日前接受了記者采訪，以下作為分享：
“對于行業(yè)的未來，我們充滿信心。”星微科技有限公司（以下簡稱星微科技）董事長陸敏杰微笑著說到。
位于無錫市新吳區(qū)的星微科技成立于2015年，公司專注于半導體晶圓自動化領域，產(chǎn)品包括半導體晶圓傳輸機器人（Wafer Robot）及晶圓自動化設備（EFEM/SORTER）、超精密晶圓運動控制系統(tǒng)（Wafer Stage），致力打造半導體晶圓自動化傳輸系統(tǒng)到晶圓高精度定位系統(tǒng)的定制化整體解決方案。
公司研發(fā)團隊掌握自主核心技術，關鍵核心零部件完全自主化，技術水平國內(nèi)領先。
兩大核心產(chǎn)品為抓手 推進核心零部件自主化進程
半導體制造工藝對環(huán)境潔凈度要求苛刻，通常人工操作無法達到行業(yè)的生產(chǎn)標準要求。星微科技制造的晶圓自動傳輸系統(tǒng)便是用于晶圓在各個半導體設備間的傳輸工作，是所有半導體制程、檢測設備都必不可少的關鍵組成部分。
“如果把芯片比作宇宙飛船，那么晶圓就是航空母艦，生產(chǎn)過程極其復雜。在這一過程中，晶圓則需要由一個設備轉移到下一個設備，期間任何一個微小的位置失誤都會導致晶圓受損。因此，晶圓制造廠都會選擇無人化的生產(chǎn)過程。”星微科技董事長陸敏杰表示，公司目前自主研發(fā)的帶晶圓機械手的傳輸系統(tǒng)，就是用來實現(xiàn)晶圓的自動搬運、分選等功能。
超精密運動平臺控制系統(tǒng)是公司的另一大核心產(chǎn)品。它作為晶圓光刻、 缺陷檢測、芯片封裝等設備的主要核心模塊。主要職能是承載晶圓、芯片按照指定的運動軌跡做高速、高精度定位等一系列極致運動。
核心零部件作為半導體設備乃至半導體產(chǎn)業(yè)鏈的基石，在很長一段時間內(nèi)都依賴于進口。而今隨著國家創(chuàng)新能力和研發(fā)能力的提升，目前已初步形成國產(chǎn)化趨勢。但因為起步晚，公司也只是完成了產(chǎn)品中的部分核心部件自主化。
陸敏杰告訴記者，一款產(chǎn)品在實際運行中會出現(xiàn)各種預想不到的問題，需要不斷的優(yōu)化迭代。目前公司自主研發(fā)的超精密氣浮運動平臺各項精度指標和制造工藝質量等方面，與國外產(chǎn)品并無二致，具有突破國外壟斷的重要意義。
2015年回錫創(chuàng)業(yè) 深耕先進制造，堅信中國制造
“我是無錫人，最開始在上海工作，從事的也是精密運動控制系統(tǒng)領域。2015年，我回到了自己的家鄉(xiāng)，開始創(chuàng)業(yè)之旅。” 陸敏杰說道。
然而，公司的發(fā)展并不是一帆風順。2015-2018年，國內(nèi)半導體行業(yè)處于低谷期，相應地，對半導體核心零部件的需求也較少。當時，公司訂單基本來源于科研院所。
隨著中美貿(mào)易競爭的加劇、技術的脫鉤，半導體自主化勢在必行，半導體零部件的國產(chǎn)自主化也引人關注。“半導體設備由成千上萬的零部件組成，這些零部件的性能、精度，則直接影響著設備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國在半導體制造能力上升級迭代的關鍵要素。” 陸敏杰告訴記者，公司從一開始就選擇超精密運動平臺和晶圓傳輸設備兩大核心產(chǎn)品，助力被“卡脖子”的半導體設備的國產(chǎn)化。
開拓市場也是一大難題。“公司在創(chuàng)業(yè)初期，作為該領域的新入行者，會面臨產(chǎn)品在市場上的認可度問題。” 陸敏杰表示，有些客戶習慣于國外產(chǎn)品，因此需要先為客戶定制測試樣機的方式來獲取市場機會。“公司當前已經(jīng)有了穩(wěn)定的客戶群，訂單排產(chǎn)、生產(chǎn)及交付也都在逐步推進中，經(jīng)營效益實現(xiàn)較快增長。公司會繼續(xù)求真務實，主動作為，穩(wěn)步提升銷量和產(chǎn)品質量。”
強化人才團隊建設讓創(chuàng)新人才安心“留下來”
2022年兩會期間，“鼓勵年輕人少送外賣多進工廠”的建議登上熱搜，引發(fā)了人們對制造業(yè)招工難問題的討論。
在陸敏杰看來，部分公眾對制造業(yè)存有工作強度大、工作環(huán)境差、薪資待遇低等刻板印象，但實際上，國內(nèi)不少制造業(yè)企業(yè)早已“今非昔比”，工作環(huán)境及收入已有明顯提高。以星微科技為例，不計投入做好各項保障工作，而且提供充分的技能培訓、完善的晉升渠道、合理的工作安排，讓人才“留下來”。
當前，公司正在抓緊對優(yōu)秀應屆生以及擁有工作經(jīng)驗的技術人才、產(chǎn)業(yè)人才的招聘。陸敏杰表示，不同于流水線式的重復工作，星微科技更注重對人才的系統(tǒng)化、全面化培養(yǎng)，“我們也在爭取公司本身的轉型升級，增加產(chǎn)品‘附加值’，吸引更多有創(chuàng)造力的優(yōu)秀人才的加入。”
結 語
近年來，中國半導體行業(yè)進入了快速發(fā)展期，而無錫以其獨特的地理位置和完整的產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，構建起一個半導體產(chǎn)業(yè)積聚的超級生態(tài)圈。據(jù)相關數(shù)據(jù)顯示，無錫的半導體產(chǎn)業(yè)規(guī)模位列全國第二，僅次于上海。
2022年年初，毅達資本完成對星微科技的投資，這也是毅達資本在無錫半導體產(chǎn)業(yè)鏈上的又一筆投資。目前毅達資本在無錫半導體投資領域已經(jīng)囊括上游的半導體材料和設備生產(chǎn)、中游的電子元器件和集成電路制造、下游的電腦、穿戴設備、安防、5G應用等全產(chǎn)業(yè)鏈條。
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